Advanced Energy 經（jīng）過（guò）現場驗證的 Precision Power™ 解（jiě）決方案可在各種等離子電源應用中提供同類產品最佳的控製（zhì）和穩定性。我們（men）全麵的功率（lǜ）輸出技術 40 多年來不斷（duàn）引領工藝創新（xīn），並將與我們的合作夥伴一起繼續推動技術向前發展。
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Paramount® HFi 是一種集成射頻傳輸解決方案，適用於沉積（jī）和其他基於半導體等離子體（tǐ）的工藝。一個電可切換固（gù）態電容器（qì）陣列與射頻功率放大器物理集成，提供最（zuì）緊（jǐn）湊的形狀因數功率傳（chuán）輸係統。由於整體封裝尺寸幾乎等於傳統射頻功率發生器，這種設計還包括（kuò）公共外殼內的匹配網絡。匹配網絡具有32個調諧範圍位置，允（yǔn）許在廣泛的阻（zǔ）抗範圍內可靠的射頻功率傳輸。 除了減少占用空間之外，機械驅動的真空電容器在集（jí）成匹配網（wǎng）絡中被固態組件取代，以提高可靠性和可（kě）重複性——這是高周期、重複性過程中的關（guān）鍵屬性。通過（guò）省略傳統的獨立真空電容器匹配網絡（luò），實現了非常快速的調諧和直接的功率調節，減少了當今（jīn）短周期、高步數沉積過程中的延遲。
