在包括臨界蝕刻、沉積、腔室清洗、檢測、注入和退火在內（nèi）的半導體製造領域（yù），Advanced Energy 的等（děng）離子功率傳輸、溫度測量、溫度控製和晶（jīng）圓控製（zhì）技術均處於市（shì）場領先地位。我們通過戰略合作、持續創（chuàng）新和快速設計，為您的特定工藝要求提（tí）供（gòng）解決方案。
Advanced Energy 的等離子（zǐ）電源輸送係統、交流/直流和直流/直流前（qián）端電源以及機架係統產（chǎn）品組合能夠以可控、高效的方式提供去除光刻膠所需的精（jīng）確功率。
隨著芯片設（shè）計日趨複雜（zá），對精確控製離子注（zhù）入的要求也越來越高。Advanced Energy功率產品的設計專注於（yú）優化效率和功率密度，確保精確控製離子能量。
Advanced Energy 為電子束檢測（cè）係統提供穩定可靠的電源。通過嚴密控製實現高精（jīng）度（dù）的缺陷（xiàn）識別，確保（bǎo）存儲器和邏輯器件符合嚴苛的規格要求。
Advanced Energy 的高精度等（děng）離子體（tǐ）功率傳（chuán）輸係統可對蝕刻應用進行精（jīng）確控製（zhì），從而實現高重複（fù）性和高產量（liàng）。
AE 為半導體沉積提供全麵的產品組（zǔ）合，包括等離（lí）子電源輸送、溫度測量、溫度（dù）控製和晶圓控製解決方案。
