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脈衝和直流電源(yuán)係(xì)統(tǒng)

脈衝和直流電源係統

利用 Advanced Energy 全麵的直流和脈(mò)衝直(zhí)流(liú)套件推(tuī)進(jìn)等離子工藝創新,在提高沉積率、改善薄膜平整(zhěng)度和堆積密度的同時最大限度減少電弧。

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