利用 Advanced Energy 全麵的直流和脈衝直(zhí)流套件推進等離子工(gōng)藝創新,在提高沉積率、改善薄膜平整度和堆積密度的同時最大限度減少電弧。
Ascent® DMS係列為雙磁控管(guǎn)濺射提供了前所未有的功率(lǜ)傳輸方便和控製,能(néng)夠精確調整薄(báo)膜特性。Ascent DMS配件具有可選擇(zé)的頻率、調節模式和(hé)占空比,以及低存儲能量和簡化的模塊化係統配置,使(shǐ)其成為真正的下一代技術。它具(jù)有成本效益、可擴展性和通用性,可最大限度地降低複雜(zá)性、提高質(zhì)量並提高吞吐量(liàng),從而實現先進的流程創新。Ascent DMS MF-120封裝為標準陰極提供(gòng)經濟高效的中頻電(diàn)源,同時提供雙極脈衝技術優勢。
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