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脈衝和直流電源係統

脈衝和直流電源係統

利用 Advanced Energy 全麵的直流和脈衝直(zhí)流套件推進等離子工(gōng)藝創新,在提高沉積率、改善薄膜平整度和堆積密度的同時最大限度減少電弧。

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先進的雙磁控濺射配件

Ascent-DMS脈衝直流電源係統

Ascent® DMS係列為雙磁控管(guǎn)濺射提供了前所未有的功率(lǜ)傳輸方便和控製,能(néng)夠精確調整薄(báo)膜特性。Ascent DMS配件具有可選擇(zé)的頻率、調節模式和(hé)占空比,以及低存儲能量和簡化的模塊化係統配置,使(shǐ)其成為真正的下一代技術。它具(jù)有成本效益、可擴展性和通用性,可最大限度地降低複雜(zá)性、提高質(zhì)量並提高吞吐量(liàng),從而實現先進的流程創新。Ascent DMS MF-120封裝為標準陰極提供(gòng)經濟高效的中頻電(diàn)源,同時提供雙極脈衝技術優勢。

特點(diǎn)

模塊化和可擴展(zhǎn)(40、60和120千瓦型號,可配置功率(lǜ)高達(dá)180千瓦)
可選頻率(500 Hz至50 kHz)
可調占空比——每個(gè)磁控管獨立的功率比調節
通過分層電弧緩解方法進行高級過程(chéng)管理(lǐ)
相位同步
增(zēng)加(jiā)薄膜價值:可重複、可定製的沉(chén)積薄膜
更低的擁有成本(běn)和更高(gāo)的生產力
更高的功率水平,提高了穩定性,減少了電弧損傷
易於擴(kuò)展、集成和支持

規格

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電話:400-888 2679,010-63268128

傳真:010-63268128

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