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5KV以上高壓放大器 5KV以下高壓放大器

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功率輸出係統 射（shè）頻匹配網絡（luò） 脈衝和直（zhí）流電源係統 射頻等離子體（tǐ）發（fā）生器 遠程等離子體源

可控矽功率控（kòng）製係列

靜電（diàn）電壓表 ESD儀器 氣（qì）體傳感器 應變（biàn）傳感器 熱傳（chuán）感器（qì）

數字溫度（dù）計 本安溫度計 濕度測量（liàng）儀 射頻（pín）和微波 LCR儀表（biǎo） 歐（ōu）姆表（biǎo） 接地和粘合 信號源和放大器（qì） 比率標準