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脈衝和直流電源係統

脈衝和直流電源(yuán)係統

利用 Advanced Energy 全麵的直(zhí)流和脈衝(chōng)直流套件推進等離子工藝創新,在提高沉積率、改善薄膜平整度(dù)和堆積(jī)密度的同時最大限度減少電弧。

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脈衝(chōng)和直流電源係統

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PEII脈衝直流電源係統

PEII電源提供40 kHz脈衝寬度調製(PWM)。它具有(yǒu)先進的電弧控製和(hé)內部負載匹配功能,當單元組合在一(yī)起時,輸出功率高達60千(qiān)瓦(wǎ),不需要(yào)變壓器或調(diào)諧器(qì)等外部硬件(jiàn)。電源還(hái)提供兩個不同的電弧處(chù)理(lǐ)電路,浮動輸出可以在任意一側接地。

特點

•高功率密度
•寬抽頭範圍(wéi)
•功率、電壓或電流的調節
•增強的電弧控製
•自動(dòng)過程保護
•靈活的模塊化
•高效、緊湊的(de)設計
•雙(shuāng)陰極和其他反應濺射應用,用於(yú)創建節能的光學和玻璃(lí)塗層
•雙陰極PECVD,生產用於裝飾薄膜、食品包裝、電(diàn)容器薄膜和其他(tā)薄膜的薄膜和塑料塗層
•PECVD、DLC、金屬(shǔ)氧(yǎng)化物和碳塗層,提供工具(jù)和摩擦(cā)學塗層

規格

技術文檔

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