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利用 Advanced Energy 全麵的直流和脈衝直流套件推進等離子(zǐ)工藝創新,在提高沉積率、改(gǎi)善薄膜平整度和堆積密(mì)度的同時最大(dà)限度減少電(diàn)弧。
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經過現場驗證(zhèng)的Pinnacle®直流發電機提供了卓越的工藝一致性和控製,顯著減少了(le)變化並提高(gāo)了(le)產量。這種緊湊、多功能的封裝提供了出色的電弧管理(lǐ),具有低存儲能量、快速電弧響(xiǎng)應和寬(kuān)的全功率工作阻抗範圍。
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