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脈(mò)衝和直流(liú)電源係統

脈衝和直流電源係統

利用(yòng) Advanced Energy 全麵的(de)直流和脈衝直流套件推進等離子工(gōng)藝創新,在提高沉積率、改(gǎi)善(shàn)薄膜平整度和堆積密度的同時最大限度減少電弧。

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前所未有的單、雙磁控(kòng)濺射功率控製

Ascent AP脈衝直流電(diàn)源係統

Ascent®AP電源以(yǐ)AE®一流的雙極脈衝直流(liú)技術為基(jī)礎,通過先進的脈衝整形以及包括全電壓反轉和自調整電弧參數(shù)在內的四塊漸進式電弧管理,擴展了您(nín)優化輸出的能力。這種(zhǒng)緊(jǐn)湊型解決(jué)方案的專利脈衝(chōng)技術可主(zhǔ)動抑製電弧,同時其廣泛的操作範圍可解鎖材料選擇,以擴展單磁控管(guǎn)和雙磁控管工(gōng)藝(yì)的靈活性和材料創新。

特點(diǎn)

具有廣泛功率輸送參數的工藝定製
通過分層(céng)電弧緩解方法進行高級過程管理
緊湊的單(dān)機解決方案(àn)(最高30千瓦)
Set Point Compensation™技術可實現穩定的吞吐量
廣(guǎng)泛的操作範圍可實現各種工藝材料
與Advanced Energy™的PowerInsight兼容(róng)
電(diàn)介(jiè)質和導電膜的精確濺射
擴展的過程控製、靈活性和創新
高膠片質量和產量
可重複、可定製的膠片
更高的功率(lǜ)水平,減少電弧損傷
易於集成和控製

規格

技術文檔

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