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脈衝和直流電源係統

脈衝和直流電(diàn)源係統

利用 Advanced Energy 全麵的直流和脈衝直流套件(jiàn)推進(jìn)等離子工藝創新(xīn),在提高沉積率、改善(shàn)薄膜平整度和堆積密度的同時(shí)最大(dà)限(xiàn)度減少電弧。

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極端電弧條件下的穩定(dìng)功率輸送和高重複性薄膜

Ascent AMS脈衝(chōng)直(zhí)流電(diàn)源係統

隨著製造技術的進步,新材料和陰極(jí)設計對工(gōng)藝穩定性和薄膜可重複性(xìng)提出了更大的挑戰。Ascent®AMS電源提供穩定(dìng)、可重複的電源,無論工藝材料或陰極設(shè)計如何。AMS提供先進的電弧管(guǎn)理,允許(xǔ)最大限度地(dì)輸送功率,並能更快地恢(huī)複處理。極快的恢複也意味著通過電弧輸送(sòng)的能量極(jí)低,可以(yǐ)防止基板損壞。對於高功(gōng)率應用,Ascent AMS可用於主(zhǔ)/輔配置。常見的應用包括超過100千瓦的輸出配置。然而,水/空氣冷卻的組合設(shè)計將發電機的占地麵積保(bǎo)持(chí)在最低限度。

特點(diǎn)

電弧管理係(xì)統™(AMS)技術——金屬(shǔ)和陶瓷靶(bǎ)的客戶預設(shè)
Set Point Compensation™技(jì)術
Arc Sync®技術--主/輔最多(duō)12個單元
以太(tài)網、EtherCAT®、DeviceNet®、Profibus、RS-232/485、以太網/IP和模擬通信
獲得高膠片質量和產量
減少薄(báo)膜(mó)、基板和設備損壞
在極端電弧條件下實現穩定的吞吐(tǔ)量和功率輸送
易於集成和控(kòng)製

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技術文檔

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