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功率輸出係統 射頻匹配網絡 脈衝和直流電源係統 射頻等離子（zǐ）體發生器 遠程等離子體（tǐ）源

可控矽功率（lǜ）控製係列（liè）

靜電電壓表 ESD儀器（qì） 氣體傳感器 應變傳感器 熱傳感器

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