eVerest 射頻發生器_北京菠萝蜜免费视频（yuán）科技有限公司

射頻等離子體發生器

從各（gè）種安（ān）裝方式和尺寸（cùn）到全（quán）數字控製和動態等離子響應，我們的射頻發生器是工藝創新的源動力。您可以（yǐ）從多種型號（hào）中靈活（huó）選擇（zé），並使用獨特的配置和控製（zhì）功能來滿足特（tè）定的應用要求。

射頻等離子體發生器

納米時代（dài）精密電源

eVerest 射頻發生器

隨著半導體行業加速邁（mài）向新的（de）轉折點，eVerest™射頻發生器滿足了轉換等離子體控製的（de）需求。其可配置的（de）多級脈衝可實現瞬時或（huò）用戶定義（yì）的轉換定時。此外，具（jù）有寬頻率掃描範圍的高（gāo）速、高精度基於模型的頻率調諧（xié）提供了更大的過程穩定性和控製。這些功能（néng），加上更快的設置點響應、脈衝狀態（tài）開（kāi）始時的受控超調，以及Advanced Energy™物聯網（wǎng）智能（néng）的複雜PowerInsight，為下一個技術節點的流（liú）程創新提供了力量。

特（tè）點規格技術文（wén）檔

特點

全（quán）射（shè）頻傳輸係統，多種匹配解決方案選項，智能同步

可編（biān）程（chéng）多級脈衝（chōng）輪廓內的速度和控製

高速射頻輸出響應和脈衝狀態上升/下降時（shí）間

高達±10%的（de）頻率調諧範圍

以（yǐ）dP/dZ穩定（dìng）性設計

PowerInsight by Advanced Energy™物聯網生（shēng）態係統

實現<2 nm沉積和蝕刻輪廓的（de）新工藝開發

提（tí）供可靠的點火（huǒ），RF穩定性與電纜長度無關（guān）

無（wú）縫集成到任何等離子體係統中

增加處理空間並拓寬穩定性窗口

規格

技術文檔

New-eVerest-datasheet