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射頻匹配網(wǎng)絡

射頻匹(pǐ)配網絡

Advanced Energy 的匹配(pèi)網絡可在多(duō)個功率範圍內實現快速、準確和可靠的(de)匹配。提供即(jí)插即用型號或可配置機組,安裝簡便,可(kě)加快調諧並加強工藝控製。

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射頻匹配網絡

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快速、準確、可靠的數字調諧匹配

Navigator II 匹配網絡

Navigator®ll配備了(le)微處理器控製(zhì)的步進電機驅動器和先進的調諧算法(fǎ),實現了優化的射(shè)頻(pín)功率。可選的內部Z'Scan®II射頻傳感器可實時分析工藝功率和阻抗,使(shǐ)您能夠快速識別並顯著降(jiàng)低工藝可變性(xìng)。可選的虛擬(nǐ)前麵板(bǎn)軟件可用於通過(guò)用戶的計算機進行(háng)監控。

特點

具有增強(qiáng)調諧算(suàn)法的(de)數字架構
脈衝射頻功(gōng)率輸送
掃(sǎo)頻操作(zuò)
多頻率應用的互調失真(IMD)抗擾度
實時過程功率和阻(zǔ)抗測量
加快(kuài)調(diào)諧/匹配響應時間
加(jiā)強(qiáng)過程控製
有助於提高工具吞吐(tǔ)量和產品產量

規格

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地址:北京市海澱區(qū)上地信息路1號2號樓1503

電話:400-888 2679,010-63268128

傳真:010-63268128

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