Advanced Energy 的匹配網絡可在多個功率範（fàn）圍內實現快速、準確（què）和可靠的匹配（pèi）。提供即插即用型（xíng）號或可配置機組，安裝簡便，可加快調諧並加強工藝控製。
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Navigator®II FCi是一個獨立的微處理器控製的阻抗匹配（pèi）網絡。該匹配網絡包含由分立固（gù）態開關電容器陣列調整的調諧元件，需要在更寬的阻抗範圍內實現快（kuài）速（sù）、精確的調諧。這些（xiē）匹配具有與（yǔ）傳統匹配類似的形（xíng）式、占地麵積和調諧範圍，與傳統匹配網絡典型的1秒範圍相比，它們提（tí）供的調（diào）諧時間在（zài）毫秒範圍（wéi）內（nèi）。這種高速匹配技術經過優化，適用（yòng）於關鍵的、功率敏（mǐn）感的、短持（chí）續（xù）時間的等離子體工藝步驟，如原子層蝕刻（ALE）。 當配置為全範圍調諧時，Navigator FCi可以（yǐ）覆蓋（gài）與真空電容器（qì）匹（pǐ）配相同的（de）阻抗空間（jiān）。固態電路的緊湊性使匹配能夠（gòu）適應（yīng）傳統版本的類似占地麵積。由於沒有移動的機械部件，這種匹配消除了傳（chuán）統匹配固有的（de）磨損和漂移機製。這使得在一係列（liè）具有挑戰性且不斷變（biàn）化（huà）的等離子體工藝中具有更高的可靠（kào）性和可重複（fù）性。
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