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5KV以上高壓放大（dà）器 5KV以下高壓放大器

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功率輸（shū）出係統 射頻匹配網（wǎng）絡 脈衝（chōng）和直流電源係統 射頻（pín）等（děng）離子體發生器 遠程（chéng）等離子體源

可控（kòng）矽功率控製係（xì）列

靜電電壓表 ESD儀器（qì） 氣體傳感器 應變傳感器 熱傳感器

數字溫（wēn）度計 本安溫度計 濕（shī）度測量儀 射頻和微波 LCR儀表 歐姆表 接地和粘合 信號源和放大（dà）器 比率標（biāo）準