Advanced Energy 的遠程等離子體源功能強大（dà）、可靠性高，可增強您（nín）的製造和清除工藝。助您定製化學特征，擴展工作範圍，提高工藝處理速度。我們先進的方案采用（yòng）流線型設計（jì），讓您能夠（gòu）實現更高水平的效率和生（shēng）產率（lǜ）。
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Litmas RPS可有效輸送高濃度的反應（yīng）性氣體，有效減少對環境有害的PFC氣體。將先進的電源和電源技術相結（jié）合，使用AE獲得專利的LitmasMatch™固態（tài）電源傳輸拓撲（pū）結構提供了一個寬的操作窗口，以最大限（xiàn）度（dù）地提高工藝開發的靈活性。所（suǒ）選擇的腔室材料（SiO2或Al2O3）提供低複合以提供高破壞率效率（DRE）和高（gāo）等離子體密度。這使得能夠與廣泛的工（gōng）藝化（huà）學物質兼容。優化的設計能夠降低公用設施的使用率，延長使用壽命，從而降（jiàng）低總體擁有成本。
