MAXstream遠程（chéng）等離子體（tǐ）源_北京菠萝蜜免费视频科技有限公司（sī）

遠（yuǎn）程（chéng）等離子體源

Advanced Energy 的遠程（chéng）等離子體源功（gōng）能強大、可靠性（xìng）高，可增強您的製造和清除工藝。助您定製化學特征，擴展工作範圍，提高工藝處理速度。我們先進的（de）方案采用流線型設計，讓您能夠實（shí）現更高水平的效率和生產率。

遠程等離（lí）子體源

用於腔室清潔應用的可靠、高性能遠（yuǎn）程等離子（zǐ）體源

MAXstream遠程等離子體（tǐ）源

Advanced Energy的MAXstream™係（xì）列是下一代遠程等離子體源，用於腔室清潔。MAXstream有3、6、8、10和12 SLPM NF3流速可供選擇，以優化價格和（hé）性能（néng）。Advanced Energy憑借其久經考驗（yàn）的差異化等離子體源材料和技術，確保了長腔室壽命和低（dī）顆粒生成。獨特的雙點火芯設計提供了（le）一流的等離子體點（diǎn）火可靠性。MAXstream RPS具有可靠且每次點火都能啟動的特點，為RPS維護提供了更（gèng）一致的操（cāo）作和更（gèng）少的停機時（shí）間。MAXstream RPS有助於降低與傳統（tǒng）RPS係（xì）統的兼容性，簡化兼容性設計，並實現對新的（de）可靠和可重（chóng）複解決（jué）方案的無縫現場升級。

特點規格技術文（wén）檔

特點

五種型號：適用於低流量應用的MAXstream 300和適用於（yú）高流量應用的（de）MAXstream 600、800、1000、1200
高（gāo）度（dù）可靠的RPS最大限度地延長了工具的正（zhèng）常運行時間
與傳統RPS裝置集成（chéng），實現更高（gāo）性能（néng）和可靠性（xìng）的簡單設計升級路徑
增強等離子體源（yuán）壁的冷卻，以減少熱膨脹和化學侵蝕造成（chéng）的損壞
主動監測和控製等離子體功率（lǜ），實現行業領（lǐng）先的功率控製
使客戶（hù）能夠通過多種流量選項（xiàng）優化成本
使（shǐ）用比Xstream RPS更小的（de）占地（dì）麵積節省寶貴的工具空（kōng）間
使用獨特的AE雙（shuāng）點火芯實現（xiàn）幾（jǐ）乎100%的點火可（kě）靠性（xìng）
使用AE專有的3型陽極（jí）氧化高純度鋁基板，延長腔室壽命
通過（guò）多達12個SLPM流量功能（néng）減少清潔時間

規格

技術文檔

MAXStream 600, 800, 1000, and 1200 Data Sheet

MAXstream 300 Data Sheet