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5KV以上高壓放大器 5KV以下高壓放大器

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功率輸出係統 射頻匹配網絡 脈衝和直（zhí）流電源（yuán）係（xì）統 射頻等離子體發生器 遠程等離子體源

可控矽功率控製係列

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